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東莞市正凱機(jī)電設(shè)備有限公司

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曝光機(jī)從核心技術(shù)參數(shù)與工藝匹配需要考慮哪些因素

發(fā)布時(shí)間：2025-06-26 20:26:14 人氣：

1. 曝光類型與光源配置
按光源分類：
汞燈曝光機(jī)：光譜覆蓋 300-450nm，光強(qiáng)高（≥100mW/cm2），適合厚膜光刻（如 PCB 阻焊層），但能耗高（單機(jī)功率 1-3kW）、壽命短（800-1500 小時(shí)）。
UV-LED 曝光機(jī)：單色光（如 365nm/395nm），能耗低（省電 30%-50%）、壽命長（20000 小時(shí)），適合高精度薄膜光刻（如半導(dǎo)體掩膜版），但光強(qiáng)均勻性要求更高。
關(guān)鍵指標(biāo)：
波長需與光刻膠匹配（如正性膠常用 365nm，負(fù)性膠可用 405nm）；
光強(qiáng)均勻性≤±3%（通過勻光板或多 LED 陣列實(shí)現(xiàn)）。
2. 分辨率與精度
分辨率決定圖案細(xì)節(jié)：
PCB 線路板：線寬 / 線距≥50μm 時(shí)，選用分辨率 1-2μm 的設(shè)備；
半導(dǎo)體芯片：需 0.5μm 以下分辨率，需搭配投影式曝光（如步進(jìn)光刻機(jī)）。
定位精度：
重復(fù)定位精度≤±10μm（適用于多層板對(duì)位），半導(dǎo)體領(lǐng)域需≤±1μm（需激光干涉儀校準(zhǔn)）。
3. 曝光幅面與產(chǎn)能
幅面適配性：
標(biāo)準(zhǔn) PCB 板：選擇 600×900mm 以上幅面（兼容 FR-4 板材）；
柔性屏基板：需 1000×1500mm 超大幅面（如 OLED 蒸鍍前曝光）。
產(chǎn)能計(jì)算：

單次曝光時(shí)間 + 上下料時(shí)間 = 節(jié)拍周期，例：某設(shè)備單次曝光 15s，每小時(shí)產(chǎn)能≈240 片（按全自動(dòng)線計(jì)算）。

東莞市正凱機(jī)電設(shè)備有限公司主要從事TP、LCD、FPC、PCB等行業(yè)設(shè)備的專業(yè)生產(chǎn)廠家。公司擁有一批專業(yè)的工程師及技術(shù)骨干，有20多年的研發(fā)、設(shè)計(jì)、制作設(shè)備的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，為給客戶提供優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)并拓展業(yè)務(wù)，我公司還在江蘇、福建均設(shè)有分公司。公司秉承“科技創(chuàng)新、誠信為本”的經(jīng)營理念，以客戶為中心，為客戶服務(wù)為宗旨，全力以赴、快速反應(yīng)，持續(xù)改善讓客戶滿意，與合作伙伴們共同發(fā)展壯大。有需要的客戶可以直接聯(lián)系我們。

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